高度不确定的半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法。借鉴蚁群生态系统中个体蚂蚁间基于信息素的间接通讯实现优化的群体行为的特征，根据半导体制造生产线的设备特性，给出了模仿信息素机制的半导体生产线动态派工规则。该规则同时考虑了非批加工设备与批加工设备的工件动态派工，具有改善整条半导体制造生产线的能力。基于实际生产线模型的仿真结果表明，与生产线上目前使用的调度规则相比，该动态派工规则能够更好的改善半导体生产线性能，获得较高产量和准时交货率，以及较低的加工周期与加工周期方差。通过仿真，进一步分析了算法参数的选择对算法性能的影响。仿真结果表明，在非批加工设备处，派工应综合考虑工件的紧急交货程度与下游设备负载；在批加工设备处，派工应优先考虑工件的紧急交货程度与设备加工能力的充分利用。

>>查看原文初稿链接<<

>>更多科技论文<<