本文介绍了一种用于压痕测试的位移-载荷信号的精密检测方法。论述了纳米压痕/划痕测试技术的发展，分析了测试装置的原理与构成。在此基础上着重分析了纳米压痕/划痕测试中载荷力传感器和位移传感器的工作原理、性能要求及其标定问题。对两类传感器进行了标定试验，采用最小二乘法对标定试验数据进行了曲线拟合，分别得到了两类传感器的线性拟合曲线和拟合方程，两类拟合方程的线性相关系数R2都接近于1，说明所用传感器具有很高的线性度。通过定义标定曲线拟合方程的斜率偏差率和截距偏差率评价了两类传感器的稳定性和可靠性。将标定后的两类传感器应用于研制的纳米压痕测试装置上，对某玻璃进行了压痕测试，得到了被测玻璃试件的载荷与压入深度试验关系曲线。

>>查看原文链接<<