子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究—科研发展

选择字体：大　中　小田义;李洪玉　　中国科技论文在线　　发布时间：2008-06-12

子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究

　　建立了合适的拼接模型，讨论了子孔径拼接中的去倾斜模型，充分利用Matlab软件强大的矩阵运算能力和与Zygo干涉仪匹配的MetroPro软件处理技术，实现了五个子孔径拼接原理性实验，并与全口径面形测量的数据进行对比，验证了模型的正确性。

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