新华网东京２月２０日电（记者张可喜）日本一家企业最近使用极短波长的辐射波制作极微小的塑料模具获得成功。使用这种模具可以生产精度达纳米级的细微零件。预计这项成果年内将应用到商业化生产中。

　　据此间新闻媒体报道，这一新成果是由住友电工公司开发的。该公司使用的这种特殊辐射波的波长仅０．５纳米，比在半导体加工过程中经常使用的紫外线激光的波长（约为３８０纳米）短得多，适合于进行精细加工。

　　这家公司使用辐射波制成塑料模具，浸泡在电镀液里，然后从电镀液中析出金属，在模具中形成精细零件，产品的精度可在３０到５０纳米间调整。使用这种技术制造的金属弹簧探针长３毫米，直径仅０．０３毫米，可用来检查半导体元件。（完）