创新驱动发展 科技引领未来

　　6月1日～6月7日，以“创新驱动发展，科技引领未来”为主题的国家“十二五”科技创新成就展在北京展览馆举行，清华大学多项科研成果在展览中集中亮相。

清华大学多项科研成果参展国家“十二五”科技创新成就展。记者 张帆 摄。

　　本次展览共分“总况、重大专项、基础研究、战略高技术、农业科技、民生科技、区域创新、大众创业万众创新、创新人才、融入全球创新网络”10个展区。在“重头戏”国家科技重大专项展区，由清华大学牵头实施的高温气冷堆核电站重大专项、重点参与的集成电路专项等重量级成果同时参展，成为高显示度的代表性成果，受到国家领导人和社会公众的重点关注。

高温气冷堆核电站重大专项展品。记者 张帆 摄

　　高温气冷堆是国际公认的第四代先进核能系统，具有安全性好、堆芯不会融毁及温度高、用途多等突出技术优势。正在山东荣成建设的全球首座20万千瓦示范工程和后续60万千瓦商业核电站的模型吸引了众多目光，世界上性能最好的球形包覆颗粒燃料元件和电磁轴承主氦风机等由清华大学自主研发的关键技术设备也备受关注。“我国高温气冷堆已突破全部核心技术，山东荣成20万千瓦示范工程在2012年已经开工，目前示范工程的土建和设备都已经基本完成，明年就要并网发电，这是世界首创。下一步要进行复制并商业化推广，目前全球首座商业示范工程进展顺利。我们不仅要着眼于国内市场，还要放到国际市场。”清华大学核研院院长、高温气冷堆核电站重大专项负责人张作义说。

张作义介绍高温气冷堆。记者 张帆 摄

　　回顾高温气冷堆的研发过程，张作义深感成果来之不易：“在研究过程中，清华大学多个学科联合进行攻关，产学研密切结合。我们齐心协力为国家作出了应有的贡献，感到无比自豪。此次召开的全国科技创新大会更坚定了我们的信心，要继续为科技强国贡献力量，培养出更多‘顶天立地’的优秀人才。”

　　在重大专项展区，绚丽多彩的3D影像体验区吸引了不少参观者前来体验。“您可以带上3D眼镜，真切感受我们专项在科技创新方面的成果，这种新媒体技术将大幅缩小普通人与高精尖科技之间的距离，带来全新的视觉享受。”清华大学机械系教授、02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”技术副总师朱煜站在展台前，向参观者生动地介绍相关成果。

朱煜介绍02专项项目情况。记者 张帆 摄

　　作为02专项最核心任务光刻机项目群中唯一通过正式验收的成果，清华大学研发的光刻机双工件台系统成功亮相。清华大学研制的双工件台，技术性能指标满足65nm步进扫描干式光刻机性能要求，已达到国际同类光刻机双工件台的技术水平。此次成果展上集中展示了清华双工件台系统的核心关键部件——硅片台超精密运动模块、双频激光干涉测量系统、国内第一个12英寸PVD E-chuck。“这是一项号称‘精密机械之王’的最尖端技术。我们攻克了无数科研难关，填补了多项国内科技空白。非常感谢国家对我们的信任和学校的大力支持。全国科技创新大会的召开让我们深感振奋，未来将坚持不懈继续创新，做出更多世界顶尖的科研成果。”朱煜说。

清华大学重大专项展品。记者 张帆 摄

　　化学机械抛光（CMP）是极大规模集成电路制造的五大关键技术之一。2013年，清华大学与天津市政府合作成立天津华海清科机电科技有限公司。该公司研发的Universal-300 Plus型抛光机，作为展会中为数不多的整机设备亮相02专项展区。短短三年间，化学机械抛光设备实现了从实验室样机到3台商业化机型的成功销售，是02专项中唯一由高校进行技术转移、并实现成套设备产业化的案例，得到了业内的高度认可。2015年，华海清科获得02专项产业化项目“28-14纳米抛光设备及工艺、配套材料产业化”的支持，继续开发更高性能的产品。

清华大学其他展品及展板。记者 张帆 摄

　　此外，在基础研究展区，清华大学的实验观测量子反常霍尔效应、暗物质粒子探测器和中国锦屏地下实验室等科研成果分别展出；在战略高技术展区，清华大学的灵巧通信试验卫星吸引了众多观众驻足留步。参展的清华教师纷纷表示，全国科技创新大会吹响了建设世界科技强国的号角。通过参加此次展览，进一步增强了创新自信，坚定了建设世界科技强国的信念和决心。

展厅现场。记者 张帆 摄

　　本次展览由科技部、国家发改委、财政部和军委装备发展部主办。展区面积约19000平方米，重点展示了基础研究和战略高技术突破、促进产业转型升级和民生改善、带动区域特色产业发展、促进大众创新创业等方面的重大科技成果。展览于6月1日在北京展览馆开幕，将持续到6月7日结束。