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非晶碳薄膜/硅异质结的气体压强敏感性
2011-10-26 中国科技论文在线 高熙礼 章晓中

  用脉冲激光沉积的方法将非晶碳薄膜沉积到n型硅衬底上得到非晶碳薄膜/硅异质结。结果显示,该异质结在140-300K的温度区间内具有良好的整流效果。更为有趣的是,该异质结对外界气体压强以及湿度的变化具有明显的响应。该响应具有快速、可重复、灵敏度高等优点。当外界压强由100Pa增加到1个标准大气压,电阻将增加400%。该现象可能是由于气体吸附导致结的空间电荷区的宽度以及结的势垒高度发生了变化而引起。上述现象表明,非晶碳薄膜/硅异质结有望在气体压强传感方面有潜在的应用价值。

  

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