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空芯光波导Al2O3薄膜的研究
http://www.edu.cn 2006-04-28中国科技论文在线 作者：汪舟
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　　本文通过水解仲丁醇铝（ASB），以HNO3作为胶溶剂，同时加入乙酰乙酸乙酯（EAcAc）和聚乙烯吡咯烷酮（PVP）作为改性剂制备Al2O3溶胶，制得了稳定透明的，适合于在玻璃基板上多次镀膜的Al2O3溶胶。运用XRD，TG－DSC，SEM对Al2O3溶胶的性质进行了探讨。实验表明，ASB：H2O＝1：50，ASB：HNO3＝1：0.3，运用提拉法镀膜30次，中间处理温度为260℃，最终热处理温度为950℃，能制备平整密实的，厚度达2.9μm的Al2O3薄膜。

 

 

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